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电子特气与氯化氢
打印本页  发布时间:2013-8-14 10:11:01

        淄博言赫特气有限公司具有较强的技术开发力量,建有设备完善的中心实验室、高纯氯化氢产品研发中心和沸石催化剂测试中心,分别负责技术开发、氯化氢和催化剂产品的研发。

       我公司的电子特气广泛应用于半导体、微电子和关联的太阳能电池等高科技产业,或用于薄膜堆积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、维护气氛等等。
 
      什么是电子气体?  所谓电子气体,顾名思义就是电子产品制造上的气体,它主要是指半导体制造用气.按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。


     公司现有年产2000吨高纯氯化氢生产线,连续批量生产应用于单晶硅外延片制造的5N(99.999%)电子级(VLSI)氯化氢,以及应用于医药中间体、农药及精细化学品制造的2.8N(99.8%)化学级氯化氢。产品性能先进,质量稳定,处于国内领先地位

 

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